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MA3000大平台工业显微镜
MA3000大平台工业显微镜

详细描述:
  仪器适用范围:伴随着半导体工业的发展,我国半导体圆晶生产已从较小的尺寸发展到现在的8英寸(200mm),MA3000就是为了适应大芯片检测而开发的新产品。MA3000配备反射照明光学系统,反射式暗场和偏光系统,使它可用在相同尺寸的半导体掩模板,液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验场合。仪器特性:
  1. 200mmX200mm带快速离合器大行程载物台。
  2. l 视场数∮22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差物镜。
  3. l 落射光明场、暗场及偏光可快速转换。
  4. l 机架经计算机《有限元》分析处理,有高稳定性及抗振性。
  5. l 轴承钢淬火后精密加工的滚柱导轨,使仪器具有稳定的使用精度及高的可靠性。
  6. l 采用人机工程学的设计理念,调焦手轮前置,使之操作舒适。
  高质量的光学系统,确保仪器在对各试样检验时均能获得良好的成像质量。
  无限远校正像差长距平场消色差物镜。
  MA3000配用了本公司最新开发的视场数 22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差系列物镜。对各种被检测的试样均能获得优良的成像质量。物镜的超长工作距离,可避免物镜与试样相碰而损伤试样或物镜。
  在反射照明光路中,明场、暗场和偏光可快速转换。
  MA3000配有明场和暗场共用的物镜,只要拉动拉杆,即可明场暗场转换;只需插入或拉出起偏器和检偏器,即可偏光转换,操作十分方便。
  采用完善的柯拉照明系统。
  MA3000采用完善的柯拉照明系统,在整个视场内照明均匀。
  MA3000大平台工业显微镜配套表

 
 
MA3000
MA3020
附 注
1
反射式工业检验显微镜主机
 
反射式,手动转换器,偏光附件
2
透反射式工业检验显微镜主机
 
透反射式,手动转换器,偏光附件
3
载物台
200X200行程,有快速离合装置
4
玻璃载物板
200X200
5
灯箱组
●●
12V50W反射光用光源
6
30°倾斜双目组
 
7
五孔手动转换器
两只装暗场物镜的大孔,三个装明场物镜的小孔
8
4×长距平场物镜
LPL 4X/0.10    ∞        工作距离 27.236mm
9
10×长距平场物镜
LPL 10X/0.25   ∞        工作距离 18.48mm
10
20×长距平场物镜
LPL 20X/0.40   ∞      工作距离 8.35mm
11
40×长距平场物镜
LPL 40X/0.65   ∞      工作距离 3.895mm
12
50×长距平场物镜
LPL 50X/0.70   ∞      工作距离 1.95mm
13
80×长距平场物镜
LPL 80X/0.80   ∞      工作距离 0.848mm
14
10X长距平场暗场物镜
D LPL 10X/0.25  ∞      工作距离 18.48mm
15
20X长距平场暗场物镜
D LPL 20X/0.40  ∞      工作距离 8.35mm
16
40X长距平场暗场物镜
D LPL 40X/0.65  ∞      工作距离 3.895mm
17
50X长距平场暗场物镜
D LPL 40X/0.70  ∞      工作距离 1.95mm
18
80X长距平场暗场物镜
D LPL 40X/0.80  ∞      工作距离 0.848mm
19
4X平场物镜
 
PL 4X/0.10   ∞/0.17
20
10X平场物镜
 
PL 10X/0.25   ∞/0.17
21
20X平场物镜
 
PL 20X/0.66   ∞/0.17
22
40X平场物镜
 
PL 4X/0.10   ∞/0.17
23
100X平场物镜
 
PL 100X/1.25oil  ∞/0.17
24
10×大视野目镜
●●
●●
WF10×-22
25
16×大视野目镜
○○
○○
WF16×-16
26
黄、绿、兰、中性滤色片
各一
27
毛玻璃片
 
28
35mm摄影接筒
 
29
2.5X摄影负目镜
 
30
CCD摄像机接头
显微镜与DV02或视频摄像机联接用

 
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